一、名词解释
金刚石晶体的解理现象：金刚石晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于（111）平面平整地劈开的现象，称为解理现象。
精密磨削：是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度达到Ra0.2~0.025μm的磨削方法，又称为小粗糙度磨削。
超精密磨削：是指加工精度达到或高于0.1μm，表面粗糙度小于Ra0.025μm的一种亚微米级的加工方法，并正向纳米级发展。
在线检测：工件在加工过程中的同时进行检测，称之为在线检测。
空气洁净度：是指空气中含尘埃量多少的程度。
恒温精度：是指相对于平均温度所允许的偏差值。
恒温基数：是指空气的平均温度。
二、填空题
精密和超精密加工包含三个领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨、精密特种加工。 金刚石刀具有两个比较重要的问题：一是晶面的选择，再就是金刚石刀具的研磨质量——切削刃钝圆半径rn。
隧道扫描显微镜是目前世界上精度最高的测量仪，可用于测量金属和半导体零件表面的原子分布的外貌。
最新的研究证实，在扫描隧道显微镜下可移动原子，实现精密工程的最终目标——原子级精密加工。
超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。
超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境条件等都直接有关。
金刚石刀具的磨损，主要属机械磨损，其磨损本质是微观解理的积累。
对金刚石刀具来说，切削刃处的解理破损是磨损和破损的主要形式，故切削刃的微观强度是刀具设计选择晶面的主要依据。
金刚石晶体定向方法有：人工目测定向、X射线晶体定向、激光晶体定向。
精密磨削机理可归纳为：微刃的微切削作用；微刃的等高切削作用；微刃的滑挤、摩擦、抛光作用。
超精密磨削时有微切削作用、塑性流动和弹性破坏作用，同时还有滑擦作用。
从加工机理来看，砂带磨削兼有磨削、研磨和抛光的综合作用。
砂带磨床上的关键部件是砂带头架；在砂带磨削头架中，最重要而关键的零件是接触轮。 花岗岩是超精密机床的床身和导轨的热门材料，这是因为花岗岩比铸铁长期尺寸稳定性好，热膨胀系数低，对振动的衰减能力强，硬度高、耐磨并不会生锈等。
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的生产加工技术。
微细切削时，为保证工件尺寸精度要求，其最后一次的表面切除层厚度必须小于尺寸精度值。 洁净室实现空气净化的基本要求是发尘量要小、及时排除尘埃、供给洁净的空气。
三、判断题（以下判断题都是正确的）
用金刚石刀具进行超精密切削，用于加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料。（如果说用于加工黑色、铜铁材料进行超精密切削是错误的）
超精密切削时，切削速度并不受刀具寿命的制约。（也就是说与速度无关）
在超精密切削的前提下，积屑瘤高时切削力大，积屑瘤小时切削力也小。
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