10.18制绒培训(2)

1、表面污点（包括手指印、残留物-IPA/NaOH/NaSiO3、外来杂质、花篮印、水纹）； 2、表面发白； 3、表面发亮； 4、表面有规则的闪光；更多内容请访问久久建筑网
5、表面有彗星现象； 6、表面无绒面； 7、表面绒面不均匀。

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9.1.1 表面手印

现象：表面有指纹残留原因：在切片中或包装时人为的接触硅片解决方法： 1、IPA可以起到一定效果，但是不能杜绝； 2、预清洗也能有一定的效果，但也不能百分百处理干净。

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9.1.2 表面药液残留

现象：表面有大量的药液残留
原因：IPA加入过多解决方法：重新制绒。

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9.1.3 表面污染

现象：同一批片子相同位置有一些类似于油污一样的污渍
原因：来料问题，可能于切片后干燥处理有关系或者是包装时引入解决方法： 1、与硅片厂家协商； 2、加大预清洗浓度； 3、重新制绒。

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9.1.4 表面污渍

现象：制绒后表面有污渍
原因：制绒后反应物残留解决方法：

1、加大预清洗浓度；
2、重新制绒。

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9.1.5 表面发白

现象：表面发白
原因：制绒时间或浓度不够解决方法：

1、加大制绒液浓度；
2、重新制绒。

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9.1.6 表面发亮

现象：表面发亮、发沙
原因：制绒时间过长或制绒液浓度过高

解决方法：
1、适当降低制绒液浓度； 2、适当减少制绒时间。

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9.1.7 制绒不良

现象：表面出现规则的制绒不良、同一整批都有
原因：可能是来料原因

解决方法：
1、适当增加制绒液浓度； 2、适当增加制绒时间；

3、相应加大预清洗浓度。

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9.1.8 表面发亮且有雨点

现象：部分局域绒面较好，部分区域较难腐蚀
原因：可能是来料原因

解决方法：
通常适当增加碱和IPA的浓度可以解决，但是具体量视实际情况而定。

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9.1.9 表面腐蚀不均匀

现象：部分局域表面发白，

有彗星现象发生
原因：IPA偏少

解决方法：
通常适当IPA的浓度可以解决，具体量视实际情况而定。

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9.1.10 表面无绒面

现象：表面基本无绒面，有流星雨现象发生
原因：来料、表面有杂质阻止制绒腐蚀解决方法： 1、通常适当增加碱液浓度可以解决，具体量视实际情况而定； 2、增加预清洗浓度。

谢谢！